中古 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L #9059489 を販売中
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ID: 9059489
ヴィンテージ: 2011
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
RF Power: 300 ~ 1000 W (Option)
Substrate Temperature Control: RT ~ 400℃
Wafer Numbers / Size: (30 -1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Reactor Base Pressure: < 1E-3 Torr
Process Pressure Range: From 50 mTorr to 10 Torr
Pumping System: Roots pump + Rotary pump or Dry pump(Option)
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System (Option): Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure (Option): < 1E-2 Torr
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20℃, 20 l/min
2011 vintage.
AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100Lエッチャー/アッシャーは、金属部品の高度なエッチングおよびアッシング技術を実行するための精密機械です。エッチャー/アッシャーは、低圧、均一な内部プラズマジェットを備えており、さまざまな材料のエッチング部品とアッシャー部品の両方に使用できます。AST CIRIE-100Lは、エッチングとアッシング時に正確な位置決めを提供する精密なテーブルとマウントシステムを備えたベンチトップマシンです。エッチャー/アッシャーは、0。0005インチまでのエッチング深度と0。001インチまでのアッシング、および正確なライン幅制御および調整可能な位相シフトを達成することができます。高度なシステムテクノロジーCIRIE-100Lエッチャー/アッシャーには、優れたエッチングとアッシャー性能のための高度な機能も装備されています。これらの機能には、静電自己放電、高シャープネス波形制御、VCVフィルタリング、HDRC (High Dynamic Range Control)、およびAxial Control Acceleration (ACA)が含まれます。CIRIE-100Lエッチャー/アッシャーには、乾燥窒素供給センサー、ガス監視および漏れ検出器などの高度な安全機能も備えており、偶発的な排出を防止します。エッチングとアッシングの両方のプロセスは、オペレータがリアルタイムでエッチングとアッシングのプロセスを監視することを可能にする使いやすいオープンプラットフォームのソフトウェアスイートによって制御されます。AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L etcher/asherは、高度な安全対策、高精度、高品質のエッチングおよびアッシング性能を備え、高度なエッチングおよびアッシング用途向けの信頼性の高いソリューションとして設計されています。
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