中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9238714 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330エッチャー/アッシャーは、化学機械平坦化（CMP）や立体（3D）パターンなどのウェーハ加工および関連アプリケーションで使用される高度なツールです。最大200mmのサイズのウェーハの高速で精密で一貫したエッチングとアッシングを可能にします。AMAT 8330は、エッチングプロセス制御、オートメーション、および安全機能を提供し、正確で繰り返し可能なウェーハ処理を保証します。アプライドマテリアルズ8330は、特許取得済みのトンネル設計と高度な真空インターロック技術により、均一なエッチングに最適な空気/ガスの流れを維持しながら、エッチングとアッシング処理を高速化します。それはより精密なエッチングのためのエッチング率を変えるために部屋の壁の異なったセット・ポイントに調節することができる単一のスリットのノズルを利用します。ユニークなプロセスチャンバーにより、すべてのウェーハサイズを均一にエッチングできます。さらに、最大限の柔軟性と効率を得るために、バッチまたはシングルウェーハモードで操作することができます。8330エッチャー/アッシャーはまた、プロセス制御の複数のソースを提供しています。チャンバー内のエッチング深さを継続的に測定する高精度のin-situ光学プロファイラを搭載しています。このプロセスは、セキュアなクラウドベースの制御システムを通じてリモートで監視および制御することができ、迅速かつ安全なエッチング操作を可能にします。デュアルガスセンサを搭載した船内安全システムは、チャンバー環境を監視し、圧力、流量、温度を自動的に調整して、安全で再現可能なプロセスを保証します。さらに、統合されたソフトウェアおよびハードウェアシステムは、プロセスパラメータの自動チューニングを可能にし、急激な変化に迅速に対応します。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330エッチャー/アッシャーは、ウェハ処理および関連アプリケーションに最適なツールです。その高度な機能と柔軟な操作により、さまざまなプロセスで最大200mmのサイズのウェーハのエッチングとアッシングをより良く、より速く、安全に行うことができます。高精度のエッチング、より高速なウェーハ加工、より大きなプロセス制御と安全性を提供するように設計されています。