中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300E #9244442 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8300E Etcher/Asherは、高度なプロセスノードにおける高いアスペクト比の構造を迅速かつ正確にエッチングするために、次世代の10KW ICPエッチング技術を使用しています。このシステムは、シリコン、ポリシリコン、タングステン、銅、Ni/V/Ti、 III-V化合物、およびエッチングが困難な材料など、さまざまな材料をエッチングするように特別に設計されています。さらに、AMAT 8300Eは温度依存であり、高い変動プロセスのためにエッチングパラメータを微調整することができます。アプライドマテリアルズ8300 Eは、高アスペクト比の構造にスケールダウンすることができ、5nm以下のプロセスノードの革新的なコンポーネントの製造を可能にします。また、マルチポイントドッシング、その場でのデュアルディレクション洗浄などのノンラインオブサイト機能も組み込まれており、デバイスのバイタライジングサポート全体の純度を高め、プロファイル変更のための誘電体を使用しています。これにより、エッチングプロセスの品質が大幅に向上します。AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 Eは、高度な監視と制御も備えています。バックエンドサポート、カスタム拡散出口制御、および高度な歩留まり管理により、コストを最小限に抑え、ダウンタイムを短縮できます。また、プロセスチャンバーの流量、圧力、温度を正確に調整するための効率的なソフトウェアアルゴリズムも装備されています。8300Eは、高い信頼性とパフォーマンスの向上、所有コストの削減、生産性の向上を実現します。APPLIED MATERIALS 8300E、複数の現場でのマルチプラント運用もサポートしてい。マルチゾーン機能により、ユーザーはさまざまなエッチングパラメータを設定でき、プロセス機能を最大化できます。8300 E Etcher/Asherは最先端のエッチングソリューションで、高度なプロセスノードにおいて高いレベルの柔軟性、生産性、信頼性を提供します。
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