中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A601 #293667511 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601は、さまざまな材料の表面をエッチング、アッシャー、プロフィールするように設計されたプラズマエッチャー/アッシャーです。これは、大手プラズマ機器メーカーであるADIXENによって開発され、市場で最も強力なプラズマエッチング/アッシングデバイスの1つを提供しています。ADIXEN A601は半導体、マイクロ波、MEMSおよび高周波産業の使用のために設計されています。高速で正確で信頼性の高いエッチングとアッシングの結果を得ることができる超高性能システムです。また、連続監視用のプロセスシミュレーション機能を内蔵しており、正確なエッチング/アッシュプロセス制御とプロセス最適化が可能です。ALCATEL A601は、自動化された手動操作モードだけでなく、様々なプラズマレシピを提供しています。それは高い血しょう均等性、速い内部基質の温度調整、低いRF力レベル、高いV/Iの直線性および低い動作温度を特色にします。また、プラズマ「オーバーバーン」や潜在的な表面損傷から保護するためのインテリジェンスとフィードバックを提供する独自のプラズマソース保護マシンが装備されています。PFEIFFER A601は、最高のスループット出力用に設計されており、非常に高速に動作します。それに二重壁に囲まれた部屋の監視が付いている革新的で、適用範囲が広い作業区域があります。基板の容易な積み下ろしのため、チャンバーをすばやく開閉できます。クローズドループマッチングネットワーク、高精度タッチパネル、抗菌UHPチャンバーガードにより、最適な性能と安全性A601提供します。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601は、マルチステッププラズマエッチング/アッシングプログラムも備えており、ユーザーは複数のレシピをツールにプログラムし、複数のレシピを同時に監視することができます。これにより、エッチング/アッシュプロセスを正確に制御および監視できます。ADIXEN A601の高度な高出力プラズマ源は、プラズマエッチングとアッシングを使用してさまざまな材料で正確なナノ構造の特徴を作り出す方法を変えます。ALCATEL A601の汎用性は、エッチング、アッシャー、プロファイル薄膜、シリコンウェーハ、その他の基板に使用できます。また、RFフィルタ、導波管、アンテナパターンなど、MEMSベースの構造のエッチングにも最適です。PFEIFFER A601の超切断性能、精度、信頼性、再現性により、市場で入手可能な最も先進的なプラズマエッチング/灰プロセスツールの1つです。これは、高いスループットと柔軟性を提供し、非常に詳細で信頼性の高いエッチング/アッシュプロファイルを作成する強力で費用対効果の高いツールです。